主要针对曲面、复杂型面零部件的超精细冷加工蚀刻,采用飞秒激光刻蚀设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽、微结构刻蚀。
主要针对曲面、复杂型面零部件的超精细冷加工蚀刻,采用飞秒激光刻蚀设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽、微结构刻蚀。
采用飞秒激光器,超短脉冲加工几乎无热传导,适用于任意有机&无机材料的高速钻孔,可实现复杂曲面的空间角度微结构加工;
孔壁整齐、无毛刺、无重铸层,无微裂纹和冶金缺陷;
更高的单脉冲能量,更高的加工精度,可对几乎任何固体材料实现精细加工;
对材料无选择性,无应力。
技术参数 | 型号 |
激光器 | 红外/绿光/紫外飞秒 |
功率 | 20W |
更大加工幅面 | 700*700mm² |
重复定位精度 | X &Y: ≤±0.1 μm;Z: ≤±3 μm |
视觉定位精度 | ≤±0.15 μm |
综合加工精度 | ≤0.5 μm |
定深刻蚀精度 | ≤1 μm |
最小线宽 | 0.2 μm ~ 2 μm可调 |
设备总功率 | 15kW |
环境温度 | 22°C±3°C |
相对湿度 | 30%~65%,不结露 |