为针对高精度大面积纳米级微孔成型需求而开发的专用设备,主要用于实验室微纳光学激光彩色显示技术,以及基于微纳结构的光学全息防伪技术等所需的高精度、高效率的激光加工。
为针对高精度大面积纳米级微孔成型需求而开发的专用设备,主要用于实验室微纳光学激光彩色显示技术,以及基于微纳结构的光学全息防伪技术等所需的高精度、高效率的激光加工。
可实现<300nm的拼接精度;
最小线宽/孔径<200nm;
飞秒超精细加工,材料无选择性;
适合微米级薄材料的纳米级精度加工;
曲面、复杂型材零件的三维微加工;
具备视觉定位功能。
技术参数 | 型号 |
激光器 | 飞秒激光器 |
中心波长 | 1030 nm/515 nm/343nm |
加工幅面 | 750mm×730mm |
行程 | 850mm×750mm×440mm |
定位精度(X/Y/Z) | <±0.4μm/<±0.4μm/<±5μm |
重复定位精度(X/Y/Z) | <±0.15μm/<±0.15μm/<±3μm |
相机定位精度 | <±0.2μm |
最小线宽/孔径 | ≤0.2μm |
综合加工精度 | <±0.3μm |